Lil kkalkkal-i's NOTEBOOK
반도체 관련하여 공부하고 정리하는 블로그입니다~
2025년 3월 30일 일요일
접촉각(Contact Angle)이란? 접촉각으로 보는 물질 표면의 친수성, 소수성
*목차*
1. 접촉각(Contact Angle) 측정이란?
2. 접촉각의 정의(표면장력, 표면에너지)
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2025년 1월 28일 화요일
표준편차(Standard Deviation) or 시그마(Sigma) 란? 그리고 표준편차 구하는 법, Sigma로 데이터 분석 및 관리 하는 법
*목차*
1. 표준편차(Standard Deviation) or 시그마(Sigma) 의미
2. 표준편차 구하는 법( + 분산 )
3. 표준편차 계산 공식
4. 표준편차로 공정 데이터 Monitoring ( 1~6 sigma )
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2024년 10월 27일 일요일
유도결합 플라즈마(ICP, Inductively Coupled Plasma) 원리 및 장단점 공부하기
*목차*
1. ICP(Inductively Coupled Plasma) 원리
2. ICP type 장단점 (CCP type 비교)
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2024년 10월 6일 일요일
반도체 공정 Descum(디스컴) 공정이란? PR Pattern의 Scum(찌꺼기)를 제거하는 공정.
*목차*
1. Descum 공정이란?
2. Descum 공정의 원리
3. Descum 공정에서 PR scum 제거 반응
4. Descum 공정의 주의점
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2024년 9월 6일 금요일
반도체 공정 Etch(식각) 공정 이란? Etch 공정의 종류
*목차*
1. 반도체 식각 공정(Etch) 이란?
2. 등방성 식각(Isotropic Etch)과 이방성 식각(Anisotropic Etch)
3. 습식 식각(Wet Etch)과 건식 식각(Dry Etch)
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2024년 8월 15일 목요일
반도체 8대 공정, CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정. Wafer 표면을 평탄하게 연마하기
*목차*
1. CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정의 목적
2. CMP 공정 필수 요소
3. CMP 공정 방법
4. CMP 공정의 주요 변수
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2024년 8월 10일 토요일
반도체 증착 공정 PECVD(Plasma Enhanced CVD) 플라즈마를 이용한 화학적 증착 방법
*목차*
1. PECVD(Plasma Enhanced CVD) 공정 이란?
2. PECVD 공정의 장단점
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접촉각(Contact Angle)이란? 접촉각으로 보는 물질 표면의 친수성, 소수성
*목차* 1. 접촉각(Contact Angle) 측정이란? 2. 접촉각의 정의(표면장력, 표면에너지)
반도체 공정 Descum(디스컴) 공정이란? PR Pattern의 Scum(찌꺼기)를 제거하는 공정.
*목차* 1. Descum 공정이란? 2. Descum 공정의 원리 3. Descum 공정에서 PR scum 제거 반응 4. Descum 공정의 주의점
반도체 범핑 공정(Bumping), 전해도금(Electroplating) 방식 공정 흐름 정리
*목차* 1. Electroplating 방식 Bumping Process 특징 2. Electroplating 방식 Bumping Process Flow 3. 다른 형태의 Bump (Pillar + Bump)
열팽창 계수 차이(Coefficient of Thermal Expansion Mismatch)와 Wafer Bending, Warpage
*목차* 1. 열팽창 계수 차이(CTE Mismatch)로 인한 물체의 Bending, Warpage 2. CTE Mismatch로 발생하는 열응력(Thermal Stress) 3. CTE Mismatch로 인한 Wafer Warpage