*목차*
1) Ionization(이온화)
2) Excitation(여기)
3) Relaxation(탈여기, 이완) or Stabilization(안정화)
4) Dissociation(분리, 해리)
5) Recombination(재결합)
6) Electron Attachment(전자 흡착)
7) Dissociative Attachment(해리 흡착)
8) Charge Transfer(전하 이동)
*목차* 1. 반도체 공정에서 균일도(Uniformity) 이란? 2. Uniformity 계산 방법 (Min-Max, Sigma Uniformity 계산 공식)