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2024년 1월 16일 화요일

플라즈마(Plasma) 상태에서 일어나는 다양한 반응(Reaction)

*목차*
1) Ionization(이온화)
2) Excitation(여기)
3) Relaxation(탈여기, 이완) or Stabilization(안정화)
4) Dissociation(분리, 해리)
5) Recombination(재결합)
6) Electron Attachment(전자 흡착)
7) Dissociative Attachment(해리 흡착)
8) Charge Transfer(전하 이동)


반도체 공정 Descum(디스컴) 공정이란? PR Pattern의 Scum(찌꺼기)를 제거하는 공정.

 *목차* 1. Descum 공정이란? 2. Descum 공정의 원리 3. Descum 공정에서 PR scum 제거 반응 4. Descum 공정의 주의점