CCP type AC or RF Plasma의 Electric Potential, Sheath, Self bias 공부

*목차*

1. CCP type AC Plasma의 전위(Electric Potential) 그리고 쉬스(Sheath)

2. CCP type AC Discharge에서 Self Bias 현상(자기 or 유도 바이어스, DC Bias)

3. Asymmetric CCP에서 Self Bias 현상