*목차*
1) Ionization(이온화)
2) Excitation(여기)
3) Relaxation(탈여기, 이완) or Stabilization(안정화)
4) Dissociation(분리, 해리)
5) Recombination(재결합)
6) Electron Attachment(전자 흡착)
7) Dissociative Attachment(해리 흡착)
8) Charge Transfer(전하 이동)
*목차* 1. Descum 공정이란? 2. Descum 공정의 원리 3. Descum 공정에서 PR scum 제거 반응 4. Descum 공정의 주의점