반도체 공정 Etch(식각) 공정 이란? Etch 공정의 종류

 *목차*

1. 반도체 식각 공정(Etch) 이란?

2. 등방성 식각(Isotropic Etch)과 이방성 식각(Anisotropic Etch)

3. 습식 식각(Wet Etch)과 건식 식각(Dry Etch)

열팽창 계수(CTE, Coefficient of Thermal Expansion) 이란?? 선, 면적, 체적 CTE

*목차*

1. 열팽창 계수 (CTE, Coefficient of Thermal Expansion) 이란?

2. 선 열팽창 계수 (CLTE, Coefficient of Linear Thermal Expansion)

3. 면적 열팽창 계수 (Coefficient of Area Thermal Expansion)

4. 체적 열팽창 계수 (Coefficient of Volume Thermal Expansion)

5. 열챙창의 등방성(Isotropy), 이방성(Anisotropy)