CCP type AC or RF Plasma의 Electric Potential, Sheath, Self bias 공부

*목차*

1. CCP type AC Plasma의 전위(Electric Potential) 그리고 쉬스(Sheath)

2. CCP type AC Discharge에서 Self Bias 현상(자기 or 유도 바이어스, DC Bias)

3. Asymmetric CCP에서 Self Bias 현상

DC Discharge Plasma의 쉬스(Sheath) 역할 및 생성 과정, 음극 전압 강하

*목차*

1. DC Discharge Plasma에서 쉬스(Sheath)의 역할

2. DC Discharge Plasma에서 쉬스(Sheath)의 생성 과정

Plasma에서 쉬스(Sheath)의 생성 및 역할 공부 노트

*목차*

1. Plasma에서 쉬스(Sheath) 란?

2. Sheath의 생성 과정

3. Sheath의 음극 전압 강하, 양이온 충돌