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2024년 2월 1일 목요일

CCP type AC or RF Plasma의 Electric Potential, Sheath, Self bias 공부


*목차*
1. CCP type AC Plasma의 전위(Electric Potential) 그리고 쉬스(Sheath)
2. CCP type AC Discharge에서 Self Bias 현상(자기 or 유도 바이어스, DC Bias)
3. Asymmetric CCP에서 Self Bias 현상




유도결합 플라즈마(ICP, Inductively Coupled Plasma) 원리 및 장단점 공부하기

 *목차* 1. ICP(Inductively Coupled Plasma) 원리 2. ICP type 장단점 (CCP type 비교)