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2024년 1월 20일 토요일

DC Discharge Plasma의 쉬스(Sheath) 역할 및 생성 과정, 음극 전압 강하

*목차*

1. DC Discharge Plasma에서 쉬스(Sheath)의 역할

2. DC Discharge Plasma에서 쉬스(Sheath)의 생성 과정

*목차*
1. CCP(Capacitively Coupled Plasma) 란?
2. DC Glow Discharge Plasma 생성 및 유지 과정

3. CCP type DC Plasma의 전극 특징
4. 암방전(Dark Discharge)과 글로우 방전(Glow Discharge)

*목차* 1. ICP(Inductively Coupled Plasma) 원리 2. ICP type 장단점 (CCP type 비교)