CCP type AC or RF Plasma의 Electric Potential, Sheath, Self bias 공부

*목차*

1. CCP type AC Plasma의 전위(Electric Potential) 그리고 쉬스(Sheath)

2. CCP type AC Discharge에서 Self Bias 현상(자기 or 유도 바이어스, DC Bias)

3. Asymmetric CCP에서 Self Bias 현상

CCP type AC Discharge Plasma 란? (RF POWER)

*목차*

1. CCP type AC Discharge Plasma 란?

2. CCP type AC Discharge Plasma의 생성 과정

3. CCP type AC Discharge Plasma의 특징

4. AC Plasma와 RF Power, RF Matcher

CCP(Capacitively Coupled Plasma), DC Glow Discharge Plasma 공부 노트

 *목차*
1. CCP(Capacitively Coupled Plasma) 란?
2. DC Glow Discharge Plasma 생성 및 유지 과정

3. CCP type DC Plasma의 전극 특징
4. 암방전(Dark Discharge)과 글로우 방전(Glow Discharge)