반도체 증착 공정 LPCVD(Low Pressure CVD) 저압에서 화학반응으로 증착하기

 *목차*

1. LPCVD(Low Pressure CVD) 공정이란?

2. LPCVD의 장단점

반도체 증착 공정 APCVD(Atmospheric CVD) 대기압에서 화학반응으로 증착하는 공정

 *목차*

1. APCVD(Atmospheric CVD) 란?

2. APCVD 공정의 장단점

반도체 증착 공정 CVD(Chemical Vapor Deposition)의 증착 원리에 대해서 공부해봐요

 *목차*

1. CVD(Chemical Vapor Deposition) 이란?

2. CVD 방식의 박막 증착 원리

3. CVD 장단점

반도체 증착 공정(Deposition) - RF Sputtering(RF 스퍼터링)에 대해서 공부해 봐요

 *목차

1. RF Plasma 란?

2. 반도체 증착 공정(Deposition) RF Sputtering 이란?

3. RF Sputtering의 장단점

반도체 증착 공정(Deposition) - DC Sputtering(스퍼터링) 공부

*목차*

1. DC Plasma와 DC Sputtering 이란?

2. DC Sputtering의 장단점

반도체 증착 공정(Deposition) PVD 스퍼터링(Sputtering) 이란? 그리고 장단점

*목차*

1. 플라즈마(Plasma) 란?

2. 반도체 증착 공정 스퍼터링(Sputtering) 이란?

3. 스퍼터링(Sputtering)의 장단점

반도체 증착 공정 PVD E-beam Evaporation 이란? 그리고 장단점

*목차*

1. E-beam Evaporation 이란?

2. E-beam Evaporation 장단점